二手1.15×1.2米振华真空电镀设备中频磁控溅射镀膜机镀铜钛铬镍不锈钢

主要技术参数：



1.镀膜室尺寸：1150×1200



2.真空系统：油扩散泵两台，2x-70升旋片泵一台，罗茨泵一台，2x-15升旋片泵一台



3.真空：5×10-4 pa



4.抽气时间：从大气抽至5×10-3pa小于20分钟（空载）



6.多弧源：8个×95，功率：8×2KW



7.磁控溅射平面靶（无）



8.磁控中频溅射圆柱靶2支×30KW



9.偏压：20KW



10.温度控制：用温控仪控制，热电偶测量炉内温度



11.真空室加热：6根加热管



12.工件转架：9轴公自转



14.设备总功率：80KW



15.设备总重量：约4T



16.设备总占地面积：16M2



17.使用220V/380V电压



18.用于冷却的水亦以软水为宜，水压为2kg/cm2



19.气源4-6kg/cm2，选用0.1立方的压缩机为宜



中频磁控溅射镀膜机可在塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材、电阻、电容、传感器等行业。



该系列设备主要是（集）直流磁控溅射，可适应镀膜靶材，如：铜、钛、铬、不锈钢、镍等金属材料，可利用溅射工艺进行镀膜，可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。



此设备由东莞市远大真空技术有限责任公司提供，联系方式，胡远军I36 ooI7 9826